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产品简介
Talyrond 595 的所有轴都经过精密加工,加强了软件自动更正功能,让TR595拥有了无可比拟的直线度和圆度精确度。调心和调平操作台配有高分辨率电机,进一步加强了精度和全自动设置目标功能。
该系统配有的Talymin 5传感器测量能力能够达到纳米级别,同时自动横臂机制能够提供无以伦比的多功能化确保能够测量*难以达到的部分。TR595配置的主动抗振控制托架确保了不受外界环境影响的测量环境,保证测量环境接近生产过程。
- 全自动轴臂横向和纵向机制
- 轴臂、立柱和主轴校准自动校准
- 自动传感器校准
- 高精度空气轴承主轴精度+/- 0.01 um
- 传感器分辨率0.3 nm
- 主动隔震和环境隔离系统
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